X射線熒光光譜儀已廣泛應(yīng)用于材料、冶金、地質(zhì)、生物醫(yī)學(xué)、環(huán)境監(jiān)測(cè)、天體物理、文物考古、刑事偵察、工業(yè)生產(chǎn)等諸多領(lǐng)域，是一種快速、無(wú)損、多元素同時(shí)測(cè)定的分析技術(shù)。采用固定通道，減少測(cè)量時(shí)間；固定通道尤其適用于熒光產(chǎn)額較低的輕元素和微量元素的測(cè)定，以提高分析精度和靈敏度。X熒光光譜儀采用操作方便，用戶習(xí)慣的智能化軟件，提供全自動(dòng)分析操作，實(shí)現(xiàn)快速定性、定量分析和半定量分析。

　　X射線熒光光譜儀可分為具有高分辨率的光譜儀，分辨率較低的便攜式光譜儀，和介于兩者之間的臺(tái)式光譜儀。高分辨率光譜儀通常采用液氮冷卻的半導(dǎo)體探測(cè)器，如Si（Li）和高純鍺探測(cè)器等。低分辨便攜式光譜儀常常采用正比計(jì)數(shù)器或閃爍計(jì)數(shù)器為探測(cè)器，它們不需要液氮冷卻。近年來(lái)，采用電致冷的半導(dǎo)體探測(cè)器，高分辨率譜儀已不用液氮冷卻。同步輻射光激發(fā)X射線熒光光譜、質(zhì)子激發(fā)X射線熒光光譜、放射性同位素激發(fā)X射線熒光光譜、全反射X射線熒光光譜、微區(qū)X射線熒光光譜等較多采用的是能量色散方式。

　　X射線熒光光譜儀優(yōu)點(diǎn)：

　　1、分析時(shí)間短。測(cè)定用時(shí)與測(cè)定精密度有關(guān)，但一般都很短，2～5分鐘就可以測(cè)完樣品中的全部待測(cè)元素。

　　2、適用范圍廣。X射線熒光光譜跟樣品的化學(xué)結(jié)合狀態(tài)無(wú)關(guān)，而且跟固體、粉末、液體及晶質(zhì)、非晶質(zhì)等物質(zhì)的狀態(tài)也基本上沒(méi)有關(guān)系。（氣體密封在容器內(nèi)也可分析）但是在高分辨率的精密測(cè)定中卻可看到有波長(zhǎng)變化等現(xiàn)象。特別是在X射線范圍內(nèi)，這種效應(yīng)更好。波長(zhǎng)變化用于化學(xué)位的測(cè)定 。

　　3、非破壞分析，重現(xiàn)性好。在測(cè)定中不會(huì)引起化學(xué)狀態(tài)的改變，也不會(huì)出現(xiàn)試樣飛散現(xiàn)象。同一試樣可反復(fù)多次測(cè)量，結(jié)果重現(xiàn)性好。

　　4、X射線熒光分析是一種物理分析方法，所以對(duì)在化學(xué)性質(zhì)上屬同一族的元素也能進(jìn)行分析。

　　5、分析精密度高。

　　6、制樣簡(jiǎn)單，固體、粉末、液體樣品等都可以進(jìn)行分析。