波長型X射線熒光光譜儀主要包括光源、激發(fā)單色器、樣品池、熒光單色器及檢測器等主要部件。

1．光源

早期的熒光分光光度計，配有能發(fā)生很窄汞線的低壓汞燈。使用高壓汞燈，譜線被加寬，而且也存在高強度的連續(xù)帶。然而，一個完整的激發(fā)光譜的測定需一種能發(fā)射從可見到紫外范圍的較高強度的光輻射的燈。氙弧燈能適于此條件，因此，它是目前在熒光分光光度計中廣泛使用的光源。

2．單色器

單色器的作用是把光源發(fā)出的連續(xù)光譜分解成單色光，并能準確方便地“取出”所需要的某一波長的光，它是光譜儀的心臟部分。單色器主要由狹縫、色散元件和透鏡系統(tǒng)組成，其中色散元件是關鍵部件。色散元件是棱鏡和反射光柵或兩者的組合，它能將連續(xù)光譜色散成為單色光。

（1）棱鏡單色器

棱鏡單色器是利用不同波長的光在棱鏡內(nèi)折射率不同將復合光色散為單色光的。棱鏡色散作用的大小與棱鏡制作材料及幾何形狀有關。常用的棱鏡用玻璃或石英制成?？梢姺止夤舛扔嬁梢圆捎貌?，它適用于紫外、可見整個光譜區(qū)。

（2）光柵單色器

光柵作為色散元件具有不少*的優(yōu)點。光柵可定義為一系列等寬、等距離的平行狹縫。光柵的色散原理是以光的衍射現(xiàn)象和干涉現(xiàn)象為基礎的。常用的光柵單色器為反射光柵單色器，它又分為平面反射光柵和凹面反射光柵兩種，其中常用的是平面反射光柵。光柵單色器的分辨率比棱鏡單色器分辨率高（可達±0.2nm），而且它可用的波長范圍也比棱鏡單色器寬，且入射光80%的能量在一級光譜中。近年來，光柵的刻制復制技術也在不斷地改進，其質(zhì)量也在不斷的提高，因而其應用日益廣泛。

（3）狹縫

狹縫是單色器的重要組成部分，直接影響到分辨率。狹縫寬度越小，單色性越好，但光強度也隨之減少。

3．樣品池

熒光儀用的樣品池需用低熒光的材料制成，通常用玻璃和石英材料，形狀以方形和長方形為宜。

4．檢測器

主要有硒光電池、光電管和光電倍增管等。目前來說由于熒光的強度較弱，一般以光電倍增管作檢測器。選擇光電倍增管要考慮響應波長、靈敏度和噪聲水平等。藍敏管對蛋白質(zhì)、核酸的測量適用，而紅敏管則適用于熒光染料檢測。